新华社官宣：中国电科搞定28激光制程离子注入机。

新华社官宣：华北地区电科搞定28nm电路板离子注入装置。

闪存生产的之首环节：

离子注入装置

光刻装置

刻蚀装置

涂层沉积

离子注入装置的功用堪比光刻装置！！！

离子注入装置可作：离子注入设备将离子注入到闪存表面，以改变闪存材料的电性能。这对于形成各不相同的电阻和导电层非常重要，以借助闪存的功能。